扫描电子显微镜对样品的要求及其制备  

作　　者：迟婷婷[1] 

机构地区：[1]四川航空股份有限公司

出　　处：《中国计量》2015年第8期83-83,共1页China Metrology

摘　　要：作为一种有效分析工具,扫描电子显微镜（SEM）可以对多种类型材料的表面形貌进行观察;若联合多种探测器,还可以实现对材料元素、组分及结晶进行分析。在检定SEM过程中,许多检定员操作系统技术熟练,但往往容易忽略检定前的准备工作。本文着重介绍样品制备方面的要求及其制备方法。

关 键 词：扫描电子显微镜 检定员 操作系统技术 表面形貌 真空蒸发法 溅射法 检定人员 热蒸发 真空蒸镀 放射性物质 

分 类 号：TN16[电子电信—物理电子学]