光伏电池片生产中排除扩散炉故障的实验研究  

作　　者：史君[1] 

机构地区：[1]东南大学太阳能研究中心,南京210009

出　　处：《机械工程师》2015年第8期128-129,共2页Mechanical Engineer

摘　　要：在光伏电池片的生产过程中,扩散炉体的相关元器件经过频繁多次的使用致设备老化,常常会出现故障,使扩散后,硅片方块电阻异常波动,致生产线的扩散环节出现很多异常问题,导致PN结质量下降。文中对扩散炉体零器件老化、损坏而导致的方阻异常进行分析,并寻找相应的解决措施,不断提高PN结制造工艺的稳定性。

关 键 词：扩散炉 方阻 温度 流量计 排风 

分 类 号：TM914[电气工程—电力电子与电力传动]