扩散炉

作品数：63被引量：46H指数：4
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碳化硅陶瓷增材制造研究取得新进展
《表面工程与再制造》2023年第5期58-58,共1页无 
碳化硅(SiC)陶瓷结构件在各类新应用场景的需求正在逐渐增多,其中包括核工业领域的大尺寸复杂形状SiC陶瓷核反应堆芯;集成电路制造关键装备光刻机的SiC陶瓷工件台、导轨、反射镜、陶瓷吸盘、手臂等;新能源锂电池生产配套的中高端精密Si...
关键词：碳化硅陶瓷 SIC陶瓷 集成电路制造 增材制造 扩散炉 精密加工 光刻机 光伏行业 
山东力冠微电子装备有限公司
《人工晶体学报》2022年第9期1801-1801,共1页
山东力冠微电子装备有限公司是一家集研发、生产、销售为一体的半导体工艺装备企业。公司集中业内科技人才致力于为广大客户提供产线、标准化产品、非标产品定制服务,与国内知名研究院所、航空航天单位、各大高校、各大企业等保持密切合...
关键词：真空退火炉 高温氧化 半导体工艺 航空航天 标准化产品 扩散炉 微电子 石墨烯 
基于.NET平台的扩散炉中控系统设计和实现被引量：1
《工业控制计算机》2022年第6期20-22,25,共4页彭浩 花奇 
随着光伏行业的快速发展,企业工厂对设备的管理需求越来越多。介绍了一种基于.NET平台的扩散炉中控系统。该系统利用.NET平台提供的编程资源,通过Socket通讯技术和文件共享技术实现了动态操作客户端、显示设备工况、监控报警状态等丰富...
关键词：光伏 扩散炉 .NET平台 SOCKET通讯 文件共享 中控系统 
晶圆热处理过程中滑移缺陷机理及抑制方法研究
《微纳电子与智能制造》2022年第2期72-77,共6页孙妍 位思梦 
集成电路生产成本进一步降低及生产效率不断提升的要求下,不同领域采用大晶圆已成为一种趋势,与此同时,器件尺寸不断减小及工艺技术发展大背景下,对晶圆及硅基器件的性能、质量要求也越来越高。随着晶圆尺寸增大,在使用立式热氧化扩散...
关键词：晶圆 立式扩散炉 滑移 重力应力 热应力 
双源扩散炉的智能信息系统设计被引量：1
《电子技术（上海）》2022年第6期18-21,共4页曾振中 黄心沿 朱宗树 张威 
阐述半导体材料加工中的扩散掺杂工艺,光伏电池的制备要求时间短、产能量大。依据工程热物理和电子学的要求,探讨传统工业炉为基础的管式扩散炉,在光伏装备领域中作为主流工艺设备,随技术的发展不断地技术更新。掺杂气体可切换的新型双...
关键词：半导体材料 扩散 掺杂工艺 过程控制 智能信息系统 
科技开发、科学研究和教学设备清单
《功能材料信息》2019年第6期6-6,共1页
科技开发、科学研究和教学设备,是指符合《中华人民共和国增值税暂行条例实施细则》(财政部国家税务总局令第50号)第二十一条"固定资产"的相关规定,为科学研究、教学和科技开发提供必要条件的实验设备、装置和器械(不包括中试设备)。
关键词：大幅面扫描仪 专用设备 磁带机 图形转换 等离子体源 材料实验机 外延炉 制样设备 教学设备 扩散炉 旋涡混合器 
神港智能仪表在控制半导体扩散工艺中的应用
《仪表技术》2019年第8期43-45,共3页陆虹 王鸿钰 
在介绍神港几款新型智能仪表和扩散设备的简要工作原理的基础上,较详细地讨论了PCA1程序控制器在控制半导体主扩散工艺中的应用和WCL-13A调节仪在太阳能电池制造中的应用。介绍的内容对该领域的工程技术人员有较高的参考价值.
关键词：程序控制器 调节仪 扩散炉 串级控制 
扩散炉加热系统及PID控制分析
《区域治理》2018年第21期205-205,共1页吕歌翔 
近年来,随着国家大力提倡发展绿色能源、清洁能源,太阳能光伏发电技术得到了不断的发展.扩散是太阳能电池片生产环节中最关键的工艺,而扩散炉也是最重要的设备之一.本文系统性的介绍了扩散炉设备的构造及其加热系统的原理,阐述了如何使...
关键词：扩散炉 加热系统 PID控制 
M5111-6/UM型五管软着陆扩散炉研制被引量：1
《电子工业专用设备》2016年第8期30-34,共5页谢于柳 禹庆荣 许烁烁 朱奕漪 
M5111-6/UM型五管软着陆扩散炉用于晶体硅太阳能电池片扩散工艺,具有全自动化、高产能、减压扩散等特点,介绍该型号设备结构组成及性能,并给出了工艺结果,结果表明该设备各方面性能均已达到国内领先水平。
关键词：太阳能电池 扩散工艺 减压扩散炉 
光伏电池片生产中排除扩散炉故障的实验研究
《机械工程师》2015年第8期128-129,共2页史君 
在光伏电池片的生产过程中,扩散炉体的相关元器件经过频繁多次的使用致设备老化,常常会出现故障,使扩散后,硅片方块电阻异常波动,致生产线的扩散环节出现很多异常问题,导致PN结质量下降。文中对扩散炉体零器件老化、损坏而导致的方阻异...
关键词：扩散炉 方阻 温度 流量计 排风 
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