山东力冠微电子装备有限公司  

出　　处：《人工晶体学报》2022年第9期1801-1801,共1页Journal of Synthetic Crystals

摘　　要：山东力冠微电子装备有限公司是一家集研发、生产、销售为一体的半导体工艺装备企业。公司集中业内科技人才致力于为广大客户提供产线、标准化产品、非标产品定制服务,与国内知名研究院所、航空航天单位、各大高校、各大企业等保持密切合作,产品被运用于重要科技攻关项目中,为我国科技实力进步做出了积极贡献。目前公司主要产品有:HVPE、PVT、碳化硅籽晶粘结设备、MPCVD、晶体提拉炉、坩埚下降炉、SiC高温氧化炉、SiC高温退火炉、LPCVD、PECVD、扩散炉、真空退火炉、LPE外延炉、石墨烯卷对卷设备、石墨烯CVD设备、快速退火炉。

关 键 词：真空退火炉 高温氧化 半导体工艺 航空航天 标准化产品 扩散炉 微电子 石墨烯 

分 类 号：F426.4[经济管理—产业经济]