全息光栅制作中基底定位误差分析及补偿方法  

Substrate Positioning Error Analysis and Compensation Method in Holographic Grating Fabrication

作　　者：董宁宁[1] 崔锦江[1] 徐建根[1] 许杰[1,2] 

机构地区：[1]中国科学院苏州生物医学工程技术研究所江苏省医用光学重点实验室,江苏苏州215163 [2]南京理工大学,江苏南京210094

出　　处：《光学学报》2015年第A01期66-70,共5页Acta Optica Sinica

基　　金：江苏省自然科学基金（BK2012188）、江苏省产学研联合创新项目（BY2013034）、苏州市医疗器械与新医药专项（ZXY2013005,zxY201429）、吉林省与中国科学院省院合作项目（2014SYHZ0005）

摘　　要：在全息光栅曝光光路中，基底的定位误差会直接影响光栅的技术指标。对平面全息光栅会造成光栅周期误差，对凹面全息光栅则会增大其像差。分析了全息光栅洛艾镜干涉系统中使用叠栅条纹方法调整干涉场周期时，标准光栅定位误差及基底定位误差对光栅周期的影响，指出通过调整基底使其与标准光栅表面平行可以补偿由标准光栅和基底定位误差带来的光栅周期误差。Substrate positioning error in exposure system will directly harm the groove accuracy of holographic grating. It will cause grating period error in the plane holographic grating, or increase the aberration of the concave holographic grating. The effects on grating period with the positioning error of the standard grating as well as the substrate are analyzed, while moir6 fringe method is used to adjust the interference field period in the Lloyd＇s mirror interference system of holographic grating. The positioning error which can be compensated by adjusting the substrate parallel to the standard grating surface is pointed out.

关 键 词：衍射 光栅 全息 光栅常数 叠栅条纹 误差 

分 类 号：O436.1[机械工程—光学工程]