叠栅条纹

作品数：51被引量：259H指数：9
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基于叠栅条纹投影成像的差动式光栅位移测量系统
《光学学报》2024年第14期135-143,共9页姚云飞 高旭 
吉林省科技厅自然科学基金面上项目(20230101217JC)。
为突破传统光栅位移测量系统依赖四裂相正弦波光电信号测量的局限,提出了一种基于叠栅条纹投影成像的差动式光栅位移测量方法。根据光栅偏振光干涉原理,利用图像处理方法和叠栅条纹的位移放大特性,规避了当前光栅的加工水平对高精度位...
关键词：物理光学 光栅位移测量系统 叠栅条纹投影成像 相移 
一种基于超分辨率的叠栅条纹图像处理方法被引量：1
《激光与光电子学进展》2019年第1期102-108,共7页李默晶 王志乾 杨文昌 刘绍锦 
吉林省重点科技攻关项目(20160204050GX;20170204050GX)
针对叠栅条纹图像在精密测量方面的应用需求,提出了一种基于图像局部自相似性和去块效应后处理的超分辨率算法。该算法利用叠栅条纹图像的局部自相似性,首先对原始低分辨率条纹图像插值,得到初始高分辨率图像,然后寻找各高分辨率图像块...
关键词：图像处理 叠栅条纹 超分辨率 自相似性 块效应 
基于方形孔径微透镜阵列二维叠栅条纹的微小角度测量被引量：5
《光学学报》2018年第2期57-63,共7页郑三超 周素梅 黄高坤 杨晓铭 
中央高校基本科研业务费专项资金(XDJK2016C123)
提出了一种利用方形孔径微透镜阵列和微图形阵列产生的二维叠栅条纹测量微小角度的方法。分析了不同尺寸阵列产生的二维叠栅条纹的节距变化规律,推导了微小旋转角度的表达式,对叠栅条纹的节距与阵列夹角之间的关系进行了理论分析与实验...
关键词：光栅 微小角度测量 方形孔径微透镜阵列 叠栅条纹 节距 
基于自相干叠栅条纹的光刻机对准技术被引量：11
《中国激光》2017年第12期177-184,共8页杜聚有 戴凤钊 步扬 王向朝 
国家自然科学基金(61405210;61474129)
随着光刻技术向10nm及以下工艺节点的延伸,光刻工艺对套刻精度提出了更高的要求,相应的对准精度的要求已经达到亚纳米量级。提出一种基于自相干叠栅条纹的光刻机对准方法,其原理是利用对准系统的光学结构将位相型光栅对准标记的同级次...
关键词：测量 光刻 套刻 对准 叠栅条纹 
移栅型全息光栅曝光干涉条纹锁定被引量：2
《中国激光》2017年第5期227-234,共8页宋莹 赵旭龙 姜岩秀 巴音贺希格 齐向东 
国家自然科学基金国家重大科研仪器设备研制专项(61227901);国家重大科学仪器设备开发专项(2011YQ120023)
为了提高全息光栅曝光系统的曝光对比度,抑制外部环境变化引起的曝光干涉条纹漂移,提出了一种移栅型干涉条纹锁定方法。采用分束光栅实现光源激光的分光及干涉条纹的相位调整。通过叠栅条纹间接测量干涉条纹相位变化,给出了双光电探测...
关键词：全息 全息光栅 干涉条纹锁定 分束光栅 叠栅条纹 
二维叠栅条纹的傅里叶变换被引量：3
《激光与光电子学进展》2017年第9期329-335,共7页杨晓铭 郑三超 黄高坤 周素梅 
重庆市基础与前沿研究计划项目(cstc2013jcyjA00016);中央高校基本业务费专项资金(XDJK2016C123)
研究了方形孔径平面微透镜阵列和微图形阵列的叠栅条纹的傅里叶原理。方形孔径平面微透镜阵列可视为正交的二维栅格线簇,以一维光栅叠栅条纹的傅里叶变换原理为基础,推导了方形孔径平面微透镜阵列二维叠栅条纹的傅里叶变换解析式,对低频...
关键词：光学器件 方形孔径平面微透镜阵列 叠栅条纹 傅里叶变换原理 同步性 
基于遗传算法的光栅信号辨识与偏差补偿研究被引量：6
《激光与光电子学进展》2016年第12期125-132,共8页杨华晖 冯伟利 刘福 
军工计量科研项目(J032008A005)
为减小圆光栅测量过程中叠栅条纹信号的细分误差,提出了一种对叠栅条纹采样信号进行参数辨识与偏差补偿的方法。该方法运用遗传算法参数辨识理论,不受信号模型参数初值选取影响,寻优特性和适用性良好,使复现的信号模型较好地拟合原始采...
关键词：测量 叠栅条纹 细分误差 遗传算法 参数识别 频谱分析 
基于复合光栅的大范围高精度对准方法被引量：3
《光学学报》2016年第1期23-31,共9页司新春 唐燕 胡松 刘俊伯 程依光 胡淘 周毅 邓钦元 
国家自然科学基金(61204114;61274108;61376110)
提出一种基于复合光栅的对准方法,满足接近式光刻高精度、大范围对准需要。该复合光栅由周期具有微小差异的小周期光栅以及与之相正交的大周期小范围光栅组成。对准过程中,通过对叠栅条纹进行高精度相位解析,实现精对准;通过直接求取大...
关键词：光栅 傅里叶光学 光刻对准 复合光栅 叠栅条纹 相位解析 
基于叠栅条纹光电信号的全微分测速方法被引量：3
《中国激光》2015年第11期177-184,共8页王亚洲 万秋华 王树洁 杨守旺 杜颖财 
中国科学院知识创新工程领域前沿项目(070Y32R070)
为了提高光电编码器速度检测精度,设计了一种基于叠栅条纹光电信号的编码器测速方法。结合全微分方程,建立叠栅条纹光电信号测速模型。分析了影响编码器测速精度的主要因素,并对比不同误差对测速精度的影响。结合测速模型设计改进算法,...
关键词：测量 光电轴角编码器 光电叠栅条纹 高精度测速 
基于二维Ronchi光栅的纳米光刻对准技术研究被引量：4
《中国激光》2015年第9期301-307,共7页司新春 佟军民 唐燕 胡松 刘俊伯 李金龙 周毅 邓钦元 
国家自然科学基金(61204114;61274108;61376110)
提出了一种基于二维光栅叠栅效应的纳米光刻对准方法,用于接近式光刻实现二维同步对准。该方法采用两组周期接近的二维光栅重叠产生一组周期分布的叠栅条纹,条纹的周期相对于两光栅周期被大幅度放大,将光栅间的位移反应在条纹的相位信...
关键词：傅里叶光学 二维光栅 光刻对准 叠栅条纹 频谱 
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