宋莹

作品数：19被引量：79H指数：5
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供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
发文主题：光栅全息光栅光束长行程干涉条纹更多>>
发文领域：机械工程理学电子电信航空宇航科学技术更多>>
发文期刊：《光学精密工程》《光学学报》《仪器仪表学报》《激光与红外》更多>>
所获基金：国家自然科学基金国家重大科学仪器设备开发专项国家重大技术装备创新研制项目中国科学院知识创新工程更多>>
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五维自由度衍射光栅精密测量系统（英文）被引量：4
《中国光学》2020年第1期189-202,共14页吕强 王玮 刘兆武 宋莹 姜珊 刘林 巴音贺希格 李文昊 
国家自然科学基金资助项目(No.61905245);吉林省科技发展计划项目(No.20190303019SF,No.20190103158JH);广东省重点领域研发计划项目(No.2019B010144001)~~
为了在保证结构简单的前提下,实现衍射光栅精密测量系统的大量程、高精度、多维度测量,设计了能够同时测量位移和角度的五维自由度衍射光栅精密测量系统。基于利特罗对称式光路结构,采用高刻线密度的一维衍射光栅以及外差干涉原理实现...
关键词：衍射光栅 精密测量 五维自由度 
用于点源透射比测试的光电探测装置设计及检测被引量：9
《仪器仪表学报》2018年第1期92-99,共8页张宁 叶露 宋莹 
国家自然科学基金(61675189)项目资助
采用点源透射比法可以对空间光学仪器的杂散光抑制能力进行测试。设计了一套光电探测装置来解决点源透射比测试中宽动态探测范围和微弱信号探测的难题,并搭建一套检测设备对该探测装置的探测动态范围、微弱信号探测能力进行了检测。光...
关键词：杂散光抑制 点源透射比 光电探测装置 动态范围 弱光探测阈值 
扫描干涉场曝光系统光斑尺寸与光路设计被引量：1
《中国激光》2017年第9期160-169,共10页王玮 姜珊 宋莹 巴音贺希格 
国家重大科研装备研制项目(61227901)
在扫描干涉场曝光(SBIL)系统中,曝光光斑尺寸对干涉条纹的拼接精度、光栅制作效率及干涉场质量有着十分重要的影响。为获取合理的曝光光斑尺寸,基于高斯光束的传输规律及扫描拼接数学模型进行了数值模拟,讨论了曝光光斑尺寸对干涉条纹...
关键词：光栅 扫描干涉场曝光系统 高斯光束 光斑尺寸 光路设计 
移栅型全息光栅曝光干涉条纹锁定被引量：2
《中国激光》2017年第5期227-234,共8页宋莹 赵旭龙 姜岩秀 巴音贺希格 齐向东 
国家自然科学基金国家重大科研仪器设备研制专项(61227901);国家重大科学仪器设备开发专项(2011YQ120023)
为了提高全息光栅曝光系统的曝光对比度,抑制外部环境变化引起的曝光干涉条纹漂移,提出了一种移栅型干涉条纹锁定方法。采用分束光栅实现光源激光的分光及干涉条纹的相位调整。通过叠栅条纹间接测量干涉条纹相位变化,给出了双光电探测...
关键词：全息 全息光栅 干涉条纹锁定 分束光栅 叠栅条纹 
扫描干涉场曝光系统中光束对准误差及其控制被引量：3
《光学学报》2017年第7期239-248,共10页王玮 巴音贺希格 潘明忠 宋莹 李文昊 
国家重大科研装备研制项目(61227901)
为了提升扫描干涉场曝光光束对准精度,保证制作的光栅掩模槽形的质量,建立了曝光光束对准误差模型,利用模型对光束对准误差进行了分析。同时为了满足系统对光束重叠精度的要求,设计研制了光束自动对准系统,并对曝光光束进行了对准实验...
关键词：光学设计 光栅 扫描干涉场曝光 光束对准 曝光对比度 位置解耦 角度解耦 
扫描曝光系统中二维工作台x轴测量镜的面形在线检测被引量：1
《中国激光》2017年第1期225-230,共6页刘兆武 李文昊 巴音贺希格 宋莹 姜珊 李晓天 吕强 
国家重大科研装备研制项目(61227901)
为了提高二维工作台的定位精度,提出了一种在线检测二维工作台x轴测量镜面形的方法。无需y轴测量镜,利用三路激光干涉仪检测工作台x轴测量镜的二次微分信息,对所得数据进行二次积分得到工作台测量镜的精确面形。分析了零点误差对工作台...
关键词：测量 光检测技术 二维工作台 测量镜面形 光栅 激光干涉仪 
扫描干涉场曝光光束自动对准及其收敛性分析被引量：5
《中国激光》2016年第12期170-177,共8页王玮 巴音贺希格 宋莹 姜珊 潘明忠 
国家重大科研装备研制项目(61227901)
光束自动对准技术是扫描干涉场曝光系统中的关键技术之一,两曝光光束位置与角度的重合程度直接影响所制作光栅掩模的槽型质量。针对光束对准过程中光束调整的两个运动维度之间存在相互耦合的情况,推导了存在耦合时对准算法的收敛条件,...
关键词：光栅 扫描干涉场曝光系统 光束对准 收敛性能 装调误差 
纳米精度二维工作台测量镜的面形误差在线检测被引量：6
《光学精密工程》2016年第9期2134-2141,共8页刘兆武 李文昊 王敬开 姜珊 宋莹 潘明忠 巴音贺希格 
国家重大科学仪器设备开发专项资助项目(No.61227901)
针对二维工作台测量镜本身的面形误差以及装调等因素引起面形变化对二维工作台定位精度的影响,提出了一种用于纳米精度二维工作台测量镜面形误差的在线检测方法。利用两路激光干涉仪检测面形微分数据的基本原理,分析了零点误差和积分累...
关键词：激光干涉仪 纳米二维工作台 测量镜 面形误差 在线检测 
干涉条纹相位变化对平面全息光栅曝光的影响被引量：2
《激光技术》2016年第3期339-343,共5页宋莹 
国家重大科学仪器设备开发专项基金资助项目(2011YQ120023)
为更好地评价平面全息光栅曝光系统的性能,了解干涉条纹相位变化对光栅制作的影响,基于曝光量表达式,结合光栅掩模槽形二元模型,采用理论分析和数值计算的方法,分析了条纹相位变化对曝光对比度、光栅掩模槽形和曝光量相位的影响。各种...
关键词：光栅 光栅曝光 数值计算 条纹相位变化 曝光对比度 掩模槽形 
光电测量设备图像高频频谱对主观评价的影响被引量：4
《光学学报》2016年第4期101-107,共7页张宁 沈湘衡 叶露 宋莹 
国家自然科学基金青年科学基金(611307114)
分析了光电测量设备图像质量评价研究过程中,图像频谱高频分量对图像质量人眼主观评价影响的途径和解决措施。对清晰图像通过Butterworth低通滤波器在频域进行了低通滤波,然后利用滤波图像分析了图像高频频谱对人眼主观感受的影响。用...
关键词：成像系统 光电测量设备 高频频谱 调制传递函数 低通滤波器 主观评价 
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