锗烷气体制备装置及利用其制备单锗烷气体的方法  

出　　处：《低温与特气》2015年第4期31-31,共1页Low Temperature and Specialty Gases

摘　　要：申请（专利）号：201380043627.9 公开（公告）日：2015-05-13 申请（专利权）人：奥瑟亚新材料股份有限公司摘要：本发明涉及一种锗烷气体制备装置及利用其制备单锗烷气体的方法。

关 键 词：气体制备装置 锗烷 利用 专利权 新材料 

分 类 号：TQ264.22-18[化学工程—有机化工]