氮化镓GaN工艺及其应用  

作　　者：Tim Kaske 

出　　处：《集成电路应用》2015年第9期34-35,共2页Application of IC

摘　　要：提升电源转换效能、提高功率密度水准、延长电池使用时间以及加快开关速度,这一切皆意味着电子产业将会变得越来越依赖于新型的功率半导体,采用不再以硅(Si)为基础的工艺技术。随着容量可能达到前所未有的性能基准,氮化镓(Ga N)正成为一项新兴的工艺技术,影响电力电子系统设计的未来发展。

关 键 词：集成电路工艺 功率半导体 氮化镓GaN 

分 类 号：TN405[电子电信—微电子学与固体电子学]