基于532nm波长纳秒激光器的玻璃切割工艺研究  

Research on Glass Cutting Process base on 532nm Wavelength Nanosecond Laser

作　　者：沈佳骏 骆公序[1,2,3] 潘涌[1,2,3,4] 刘中俊[1,2,3] 姜兆华[1,2,3,4] 

机构地区：[1]上海市激光技术研究所,上海200233 [2]上海市激光束精细加工重点实验室,上海200233 [3]先进激光应用联合实验室,上海200233 [4]上海激光直接物标溯源工程技术研究中心,上海200233

出　　处：《应用激光》2015年第4期493-499,共7页Applied Laser

基　　金：上海市科学技术委员会资助项目(项目编号:2013-108);上海市科学技术委员会资助项目(项目编号:2014-105);上海张江国家自主创新示范区资助项目(项目编号:201309-XH-CHJ-A0-002);上海市经济和信息化委员会专项资助项目(项目编号:13XI-06)

摘　　要：基于EdgeWave GmbH 532nm波长的纳秒激光器,通过改变激光加工参数进行玻璃切割工艺实验,研究激光工艺参数对玻璃切割效果的影响。实验表明,通过对电流大小、填充间隔、分层切割和切割速度等激光参数的优化,能够加工出边缘光滑、无横向微裂、无碎屑的玻璃基片,获得较好的良品率。In this paper,the effect of laser processing parameters on the cutting of glass is studied by changing the laser parameters of the Edge Wave GmbH 532 nm wavelength nanosecond laser.Experiments show that we could get smooth edges,no transverse micro-cracking and free debris of glass substrates with higher yields by optimizing the laser parameters like current values,filling gap sizes,cutting depths and cutting speeds.

关 键 词：纳秒激光器 532nm波长 玻璃切割 工艺参数 切割效果 

分 类 号：TN249[电子电信—物理电子学]