关于MOCVD自动化云端系统开发的探讨  

作　　者：卢铃 

机构地区：[1]开发晶照明(厦门)有限公司

出　　处：《中国照明》2015年第8期70-72,共3页China Illuminrtion

摘　　要：MOCVD是LED外延片生产最为关键的设备，不仅决定LED产品的性能，也决定LED的生产成本。公司研发的MOCVD自动化云端系统可实现MocvD的配方修正、品质检测管理、制成品量测分析，将设备回馈的生产信息进行收集整理，建立完整的可回溯的生产档案，确保多MOCVD机台生产的外延片光均性、寿命等指标保持一致。取代长期延用的人工控制晶体生长过程，解决了专业技术人员匮乏、产品一致性低、合格率较难控制等问题。

关 键 词：MOCVD 端系统 自动化 LED外延片 开发 生产成本 晶体生长过程 专业技术人员 

分 类 号：TN304.23[电子电信—物理电子学]