太阳能选择性吸收涂层中铝靶拐点电压的影响因素分析  

Influencing factors of the knee point voltage of aluminum target for the solar selective absorbing coating

作　　者：朱培强 李峰 祝世春 

机构地区：[1]北京天普太阳能工业有限公司,北京102602

出　　处：《真空》2015年第5期47-51,共5页Vacuum

摘　　要：利用磁控溅射技术制备不锈钢-氮化铝(SS-Al N)太阳选择性吸收涂层的过程中,铝靶拐点电压的选取以及微控对所镀膜层的质量及其重要。本文分别试验了单独开启铝靶时不同溅射压强(0.2Pa、0.3Pa、0.4Pa、0.5Pa)下、单独开启铝靶时不同铝靶电流(30A、35A、40A)下、同时开启不锈钢靶和铝靶时不同不锈钢靶电流(20A、30A、40A)下,铝靶拐点电压的变化。During the preparation of the SS-ALN solar selective absorbing coating by magnetron sputtering, the knee point volt-- age of aluminum target is extremely important for the coating. The changes of knee point voltage under different sputtering pressures （ 0.2Pa, 0.3Pa, 0.4Pa, 0.5Pa ）, different electric current of aluminum target （ 30A, 35A, 40A ） and different electric current of stainless steel target（20A,30A,40A）were tested.

关 键 词：太阳能选择性吸收涂层 不锈钢-氮化铝(SS—AlN) 磁控溅射 拐点电压 反应溅射 

分 类 号：TB43[一般工业技术] TK519[动力工程及工程热物理—热能工程]