浅析硅铝靶工艺气体流量对Low—E玻璃钢化前后玻面色差的影响  

作　　者：郭明 

机构地区：[1]金堆城洛阳节能玻璃有限公司

出　　处：《建筑玻璃与工业玻璃》2015年第8期20-23,共4页Architectural Glass and Functional Glass

摘　　要：本文通过实验，详尽分析了硅铝靶使用不同溅射功率、工艺气体流量和氩／氮气比例时，Low-E玻璃钢化前后玻面色差的变化，指出为了生产高质量可钢化Low—E玻璃，在硅铝靶使用不同的溅射功率时，如何选择最优的工艺气体流量和氩／氮气比例。

关 键 词：玻璃钢化 气体流量 LOW 工艺 铝靶 色差 硅 溅射功率 

分 类 号：TQ327.1[化学工程—合成树脂塑料工业]