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出　　处：《信息技术与标准化》2015年第9期78-79,共2页Information Technology & Standardization

关 键 词：通用规范 硅单晶抛光片 测试方法 测量方法 电子标签 设备资源共享 

分 类 号：TN0-65[电子电信—物理电子学]