硅单晶抛光片

作品数：26被引量：5H指数：1
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相关作者：杨洪星张伟才索开南庞炳远杨静更多>>
相关机构：中国电子科技集团公司中国电子科技集团公司第四十六研究所北京有色金属研究总院有色金属技术经济研究院更多>>
相关期刊：《世界制造技术与装备市场》《信息技术与标准化》《稀有金属》《中国集成电路》更多>>
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硅溶胶抛光液对硅单晶抛光片表面质量的影响被引量：2
《半导体技术》2021年第10期788-794,共7页索开南 张伟才 杨洪星 郑万超 
硅抛光片表面质量除了受抛光工艺参数影响外,在很大程度上还受抛光液的影响。通过检测表面Haze值和粗糙度,研究硅抛光片表面形貌,分析不同抛光液对抛光片表面质量的影响,确定不同抛光阶段对抛光液的要求。研究结果表明粗抛光过程是以化...
关键词：硅抛光片 硅溶胶 抛光液 Haze值 粗糙度 
最新标准出版信息
《信息技术与标准化》2015年第10期76-77,共2页
关键词：硅单晶抛光片 通用规范 通用技术 
最新标准出版信息
《信息技术与标准化》2015年第9期78-79,共2页
关键词：通用规范 硅单晶抛光片 测试方法 测量方法 电子标签 设备资源共享 
最新标准出版信息
《信息技术与标准化》2015年第8期78-79,共2页
关键词：通用规范 硅单晶抛光片 测试方法 测量方法 电子标签 设备资源共享 
工业和信息化部最新发布77项电子行业标准
《信息技术与标准化》2015年第5期75-79,共5页
关键词：包装 检验规则 半绝缘砷化镓 硅单晶抛光片 设备资源共享 数字电视机 聚四氟乙烯 含氟高聚物 危险化学品气瓶 线阵列扬声器系统 等离子体显示器件 测试方法 测量方法 通信电缆 通讯电缆 同轴 电子行业 工业和信息化部 
2015年9月起实施的国家标准
《大众标准化》2015年第9期88-89,共2页
关键词：GB 硅单晶抛光片 玻璃纤维增强塑料管 深冷容器 月起 石油天然气工业 能源工业 三轮汽车 外延片 定心卡盘 旅行社 旅游社 旅游企业 低速货车 轮式拖拉机 驱动电机 测试方法 测量方法 几何精度 
硅单晶抛光片边缘亮线研究被引量：2
《电子工艺技术》2014年第5期298-302,共5页王云彪 杨洪星 陈亚楠 张伟才 
天津市青年基金项目(项目编号:12JCQNJC01700)
随着集成电路用晶圆向大尺寸化方向发展，国内10～15 cm硅抛光片市场竞争日益激烈，外延及器件厂家对抛光片的表面质量和可利用率要求越来越高。边缘亮线是一种存在于硅片抛光面边缘的腐蚀缺陷，对抛光片的成品率及后续工艺质量有重要...
关键词：边缘亮线 表面形貌 成品率 抛光片 
重掺<100>硅单晶抛光片条纹状起伏缺陷研究
《电子工艺技术》2012年第5期312-315,共4页王云彪 张为才 武永超 陈亚楠 
重掺<100>硅单晶片抛光后经微分干涉显微镜观测,抛光片边缘区域存在条纹状起伏缺陷。通过分析条纹状起伏缺陷与重掺硅单晶中杂质的分布状况和<100>晶面本身腐蚀特性的关系,阐述了条纹状起伏缺陷形成的机理。通过工艺试验,对比了不同工...
关键词：条纹起伏缺陷 微观形貌 抛光片 
直径12英寸硅单晶抛光片
《中国集成电路》2007年第7期54-55,共2页
1、产品及其简介 公司立足自主创新，攻克了12英寸硅单晶生长的热场设计和安全、杂质和缺陷的控制、硅片几何参数的精密控制、表面金属和颗粒的去除等关键技术难题，形成了从单晶生长到晶片加工、处理和检测的自有成套技术，并利用该...
关键词：硅单晶 抛光片 直径 单晶生长 精密控制 成套技术 自主创新 热场设计 
新书预告
《电子工业专用设备》2005年第6期81-81,共1页
关键词：硅单晶抛光片 加工技术 加工工艺 电工材料 半导体材料 硅单晶棒 新书预告 
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