图形电镀均匀性改善研究  被引量:2

在线阅读下载全文

作  者:钟姚 吴寿军 汪海燕 

机构地区:[1]铜陵超远精密电子科技有限公司

出  处:《印制电路资讯》2015年第6期105-107,共3页Printed Circuit Board Information

摘  要:虽厚化铜工艺作为成熟工艺被行业推广应用,但此流程需在图形电镀时直接将镀层厚度镀到满足客户要求,特别在面对制作均值≥1.1mil,单点1.0mil的产品时,对均匀性提出了更高的要求。本文通过阐述在厚化铜流程前提下,通过对阳极排布调整、浮架打孔及安装阳极档板等方式,使图电均匀性得到改善并有效改善夹膜问题。

关 键 词:电镀均匀性 厚化铜 阳极档板 阳极排布 

分 类 号:TN454.05[电子电信—微电子学与固体电子学]

 

参考文献:

正在载入数据...

 

二级参考文献:

正在载入数据...

 

耦合文献:

正在载入数据...

 

引证文献:

正在载入数据...

 

二级引证文献:

正在载入数据...

 

同被引文献:

正在载入数据...

 

相关期刊文献:

正在载入数据...

相关的主题
相关的作者对象
相关的机构对象