基于多次压电效应理论微动传感器的研究  被引量:3

[1]Lee BS,Lin SC,Wu WJ.Fabrication and evaluation of a MEMS piezoelectric bimorph generator for vibration energy harvesting[J].Journal of Mechanics,2010,12(26):493-499.[2]Zhang Zhonghua,Kan Junwu,Cheng Guangming.A piezoelectric micropump with an integrat

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作  者:魏喜雯[1] 史丽萍[2] 刘刚[1] 史云玲[1] 

机构地区:[1]黑龙江工业学院电气与信息工程系 [2]黑龙江大学机电工程学院

出  处:《电气应用》2015年第19期90-93,共4页Electrotechnical Application

摘  要:基于经典压电学理论、电介质物理学理论,利用压电陶瓷体的一次正压电效应可产生电荷、二次逆压电效应可输出微位移的多次压电效应理论,提出一种基于多次压电效应微动传感器研制的方法,将传感器和执行器集成一体,实现传感和微动执行功能。通过理论研究和实验验证,设计了微动传感器的内部连接和外形结构,确定了总体方案。

关 键 词:压电陶瓷体 多次压电效应 微动传感器 

分 类 号:TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]

 

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