MEMS可调光衰减器的波长相关损耗优化  

Optimization of the wavelength-dependent loss of MEMS torsion mirror-based variable optical attenuators

作　　者：陈旭[1,2] 万助军[1,2] 米仁杰 罗志祥[1,2] 

机构地区：[1]华中科技大学下一代互联网接入系统国家工程实验室,武汉430074 [2]华中科技大学光学与电子信息学院,武汉430074

出　　处：《光通信研究》2015年第6期49-52,共4页Study on Optical Communications

基　　金：国家自然科学基金资助项目(61107062)

摘　　要：基于MEMS（微机电系统）扭镜的光束偏转技术是实现VOA（可调光衰减器）的主流技术方案之一,但其存在WDL（波长相关损耗）较大的问题.通过分析WDL的成因,提出了-种优化设计方案.实验测得在波长范围1.53-1.57μm 与衰减范围0-20dB内,WDL最大为0.21dB,验证了理论分析的正确性.The bean deflection technology based on Micro-Electro-Mechanical System(MEMS)torsion mirror is one of the main technical schemes for Variable Optical Attenuators(VOA),which is liable to high Wavelength-Dependent Loss(WDL).This paper presents a design optimization scheme on the basis of analyzing the causes of the WDL.The experimental test results indicate that in the warelength range of 1.53~1.57μm and the attenuation range of 0~20dB,the measured maximum WDL is 0.21 dB,verifying the correctness of the theoretical analysis.

关 键 词：光纤通信 可调光衰减器 波长相关损耗 微机电系统 

分 类 号：TN929.11[电子电信—通信与信息系统]