大尺寸低阻ZnO单晶衬底  

机构地区：[1]中国科学院北京国家技术转移中心

出　　处：《中国科技信息》2015年第24期3-3,共1页China Science and Technology Information

摘　　要：ZnO单晶作为一种宽带半导体材料具有许多应用潜力，如制作高效率兰色、紫外发光和探测器、新型大功率微波器件等。本成果提供一种氧化锌体单晶生长技术。作为第三代半导体的核心基础材料之一的ZnO晶体既是一种宽禁带半导体，又是一种具有优异光电性能和压电性能的多功能晶体。

关 键 词：ZNO单晶 宽带半导体材料 大尺寸 大功率微波器件 衬底 低阻 单晶生长技术 宽禁带半导体 

分 类 号：O78[理学—晶体学]