一种MEMS加速度计仿真  

作　　者：曹延磊[1] 

机构地区：[1]无锡科技职业学院,江苏无锡214028

出　　处：《工业设计》2015年第12期173-174,共2页Industrial Design

摘　　要：针对采用Post CMOS工艺设计的MEMS加速度计的结构进行仿真计算,最终得到:MEMS加速度计的质量块质量大小为2.53ug,感应方向的弹簧系统的弹性常数为2.1N/m,敏感方向上的自然谐振频率4600Hz,等效加速速度布朗噪声值58u G/Hz,机械灵敏度3.46f F/G。在200mv交流电压供给下,加速度计的电压输出灵敏度达到1.67m V/G。

关 键 词：MEMS 加速度计 仿真 

分 类 号：TH824.4[机械工程—仪器科学与技术]