准分子激光刻蚀聚合物微图形制作研究  

Micropatterns on polymers etched by excimer lasers

作　　者：章琳[1] 楼祺洪[1] 魏运荣[1] 董景星[1] 李铁军[1] 黄峰[1] 

机构地区：[1]中国科学院上海光学精密机械研究所,上海201800

出　　处：《激光技术》2002年第2期94-96,共3页Laser Technology

摘　　要：主要描述了紫外准分子激光刻蚀聚酰亚胺 (polyimide ,PI)制作微图案实验。通过这种刻蚀方法 。In the paper,the experiment with UV excimer laser etching PI for micropatterns is described in detail.With this method,micropatterns with micron scale line width and sub micron depth have been successfully fabricated on PI.

关 键 词：紫外准分子激光 刻蚀 PI 微图形制作 聚酰亚胺 

分 类 号：TN205[电子电信—物理电子学] TN204