毛细管柱气相色谱法测定氢气中的氯化氢  

作　　者：于晓艳[1] 杨红燕[1] 卢菊花[1] 赵建为[1] 李剑南[1] 王桃萍 任国扬 

机构地区：[1]昆明冶研新材料股份有限公司,云南省光电子硅材料制备技术企业重点实验室,曲靖655000

出　　处：《理化检验（化学分册）》2016年第1期86-87,共2页Physical Testing and Chemical Analysis(Part B:Chemical Analysis)

摘　　要：多晶硅生产中,干法回收氢气作为原料还原剂和载流气体，若其中氯化氢含量高，则在多晶硅生产过程的前期可能出现倒炉现象，后期可能出现磷超标现象，严重影响多晶硅的质量。因此需对回收氢气中的氯化氢进行测定。

关 键 词：毛细管柱气相色谱法 回收氢气 氯化氢 测定 生产过程 多晶硅 超标现象 还原剂 

分 类 号：O657.7[理学—分析化学]