浮法在线AP—MOCVD法制备高雾度透明导电玻璃的研究  

作　　者：刘起英 

机构地区：[1]中国玻璃控股有限公司

出　　处：《建筑玻璃与工业玻璃》2015年第9期15-18,共4页Architectural Glass and Functional Glass

摘　　要：采用常压有机金属化合物化学气相沉积（AP—MOCVD）法，在浮法玻璃生产线上制备了绒面透明导电玻璃，通过控制反应物浓度及配比成功实现对表面形貌的调控，雾度值随表面形貌而变化。采用XRD研究薄膜的结构和择优取向，采用FESEM、AFM对表面形貌进行观察，采用紫外可见光分光光度计和四点探针法分析光学和电学性能。结果表明，雾度值与表面形貌密切相关，而表面形貌与膜厚、晶粒尺寸、晶粒的择优取向有关，通过改变工艺参数，可以实现对雾度和光电性能的调控。雾度值随晶粒尺寸和膜厚的增加而提高，但光学和电学性能有所下降。

关 键 词：浮法玻璃生产线 透明导电玻璃 MOCVD法 雾度 制备 可见光分光光度计 有机金属化合物 表面形貌 

分 类 号：TQ171.721[化学工程—玻璃工业]