MOCVD法

作品数:158被引量:287H指数:9
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沉积温度对MOCVD法在铁素体不锈钢表面制备Mn_(1.5)Co_(1.5)O_(4)涂层性能的影响
《武汉工程大学学报》2025年第1期37-43,共7页李华 马超 汤加杰 熊春艳 赵培 
湖北省教育厅科技计划指导项目(B2023041);湖北省重点研发项目(2024BCB074)。
为了研究在固体氧化物燃料电池阴极条件下Mn_(1.5)Co_(1.5)O_(4)涂层对连接体的保护效果,以三(2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酮)锰和双(2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酮)钴为前驱体,通过金属有机化学气相沉积法在SUS430铁素体不锈钢上成功制备了Mn...
关键词:固体氧化物燃料电池 Mn_(1.5)Co_(1.5)O_(4)涂层 高温抗氧化性 金属有机化学气相沉积 
沉积温度对MOCVD法制备固体氧化物燃料电池GDC阻挡层性质的影响
《人工晶体学报》2024年第12期2197-2204,共8页马超 熊春艳 徐源来 赵培 
致密的氧化钆掺杂的氧化铈(GDC)薄膜可以被应用于固体氧化物燃料电池(SOFC)的阴极LSCF与电解质YSZ的阻挡层,防止绝缘相SrZrO3的生成,从而提高电池的耐久性。本文以四(2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酮)铈(Ce(DPM)_(4))和三(2,2,6,6-四甲基-3,5...
关键词:氧化钆掺杂氧化铈 金属有机物化学气相沉积 沉积温度 固体氧化物燃料电池 
第二十二讲 化学气相沉积(CVD)技术
《真空》2024年第4期102-104,共3页张以忱 
4.2 MO源MOCVD法是一种利用金属有机化合物热分解反应进行气相外延生长的方法,主要用于化合物半导体气相生长上。在这项技术中,这些可分解的金属有机化合物被用作初始反应物,通常称为MO源。
关键词:金属有机化合物 热分解反应 化合物半导体 气相生长 MOCVD法 MO源 可分解 气相外延生长 
MOCVD法生长二维范德华材料的研究进展被引量:1
《半导体技术》2021年第7期497-503,共7页柳鸣 郭伟玲 孙捷 
国家重点基础研究发展计划资助项目(2018YFA0209000)。
二维范德华材料凭借其优异的光学和电学特性,自被发现以来一直作为延续集成电路摩尔定律的重要基础电子材料而备受关注。通过机械剥离的方法得到高质量的二维材料进行实验室层面的研究工作已经不能满足现阶段的需要。采用金属有机化学...
关键词:金属有机化学气相沉积(MOCVD) 二维范德华材料 过渡金属硫化物(TMDC) MoS_(2) 异质结 
MOCVD法制备β-Ga2O3一维纳米材料
《辽宁科技大学学报》2020年第4期272-276,320,共6页朱江 胡大强 王颖 郇维亮 
辽宁省自然科学基金(2019-ZD-0268);辽宁科技大学优秀人才项目(2019RC08)。
采用金属有机化学气相沉积法,以Au为催化剂,在蓝宝石衬底上制备β-Ga2O3一维纳米材料。采用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、拉曼光谱仪、光致发光光谱仪对样品的物相、表面形貌、结构以及发光性能等进行了表征。主要研究了生长温度对其...
关键词:金属有机化学气相沉积 一维纳米材料 β-Ga2O3 生长温度 
MOCVD法制备BGaN薄膜
《发光学报》2020年第4期357-363,共7页曹越 于佳琪 张立东 邓高强 张源涛 张宝林 
国家重点研发计划(2016YFB0401801);国家自然科学基金(61674068,61734001);光电材料与技术国家重点实验(中山大学)开放课题(OEMT2018KF08)资助项目。
利用金属有机物化学气相沉积(MOCVD)技术,在蓝宝石衬底上进行了BGaN薄膜的外延生长,研究了生长厚度、温度、压力和B/Ⅲ比等条件对BGaN薄膜中B组分的影响。X射线衍射测试结果表明,降低生长温度、压力以及增加B/Ⅲ比,更有利于提高BGaN薄膜...
关键词:氮化硼镓 金属有机物化学气相沉积 薄膜 
Cu/MgO催化剂的MOCVD法制备及其γ-戊内酯加氢制1,4-戊二醇性能(英文)被引量:2
《燃料化学学报》2017年第5期537-546,共10页翟雪娇 李闯 邸鑫 殷冬冬 梁长海 
supported by the National Natural Science Foundation of China(21573031,21428301);the Fundamental Research Funds for the Central Universities(DUT15ZD106);Program for Excellent Talents in Dalian City(2016RD09)~~
以Cu(acac)2为金属有机铜前体,层状MgO为载体,采用金属有机化学气相沉积方法(MOCVD)制备了Cu/MgO催化剂,并通过X射线衍射(XRD)、傅里叶变换红外光谱(FT-IR)、场发射扫描电镜(FE-SEM)、透射电子显微镜(TEM)和N_2物理吸附等方法对Cu/MgO...
关键词:Cu/MgO MOCVD γ-戊内酯 加氢反应 1 4-戊二醇 
H_2气氛对采用MOCVD法在Si衬底上外延生长AlN薄膜性能的影响
《材料研究与应用》2016年第1期10-15,共6页杨美娟 林云昊 王文樑 林志霆 李国强 
国家优秀青年科学家基金(51422203);广东省杰出青年科学家基金(S2013050013882);广东省重大科技专项资助项目(2014B010119001)
采用金属有机化合物气相沉积法(MOCVD)在Si(111)衬底上外延生长AlN薄膜,用高分辨X射线衍射、扫描电子显微镜和原子力显微镜对外延生长所得AlN薄膜的性能进行表征,并研究了适量H_2的引入对AlN薄膜的晶体结构和表面形貌的影响.结果表明:...
关键词:SI衬底 ALN薄膜 H2 MOCVD 
浮法在线AP—MOCVD法制备高雾度透明导电玻璃的研究
《建筑玻璃与工业玻璃》2015年第9期15-18,共4页刘起英 
采用常压有机金属化合物化学气相沉积(AP—MOCVD)法,在浮法玻璃生产线上制备了绒面透明导电玻璃,通过控制反应物浓度及配比成功实现对表面形貌的调控,雾度值随表面形貌而变化。采用XRD研究薄膜的结构和择优取向,采用FESEM、AFM对...
关键词:浮法玻璃生产线 透明导电玻璃 MOCVD法 雾度 制备 可见光分光光度计 有机金属化合物 表面形貌 
MOCVD法在蓝宝石衬底上生长GaN薄膜的性能研究被引量:2
《人工晶体学报》2015年第7期1790-1793,1805,共5页孙孪鸿 邹军 徐家跃 李文博 
国家自然科学基金青年基金(51302171);上海应用技术学院人才计划项目(YJ2014-04);上海市学科能力建设项目(14500503300);上海联盟计划项目(LM201318);上海市产学研合作项目(沪CXY-2013-61)
本文采用MOCVD法分别在a面和c面蓝宝石衬底上生长出7层In Ga N/Ga N多量子阱结构的Ga N薄膜,采用X射线衍射(XRD)、拉曼光谱仪、吸收光谱等手段对样品进行表征。分析表明:a面蓝宝石衬底上生长的Ga N薄膜(样品A)的FWHM为781.2 arcsec,c面...
关键词:蓝宝石 GAN薄膜 MOCVD 
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