云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 杨美娟

杨美娟: 作品数：1被引量：0H指数：0; 导出分析报告; 供职机构：华南理工大学更多>>; 发文主题：衬底尺寸可控非掺杂纳米阵列铝酸锶更多>>; 发文领域：电子电信文化科学一般工业技术化学工程更多>>; 发文期刊：《材料研究与应用》更多>>; 所获基金：广东省重大科技专项更多>>

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H_2气氛对采用MOCVD法在Si衬底上外延生长AlN薄膜性能的影响: 《材料研究与应用》2016年第1期10-15,共6页杨美娟林云昊王文樑林志霆李国强; 国家优秀青年科学家基金(51422203);广东省杰出青年科学家基金(S2013050013882);广东省重大科技专项资助项目(2014B010119001); 采用金属有机化合物气相沉积法(MOCVD)在Si(111)衬底上外延生长AlN薄膜,用高分辨X射线衍射、扫描电子显微镜和原子力显微镜对外延生长所得AlN薄膜的性能进行表征,并研究了适量H_2的引入对AlN薄膜的晶体结构和表面形貌的影响.结果表明:...; 关键词：SI衬底 ALN薄膜 H2 MOCVD