电真空器件同心度的测量方法  

作　　者：王博锋[1] 周冠丽 王蒙[1] 胡旭华[1] 李丽萍[1] 周健勇[1] 张永清[1] 

机构地区：[1]中国科学院电子学研究所

出　　处：《中国计量》2016年第1期93-96,共4页China Metrology

摘　　要：本文根据工具显微镜光学系统的特性,分析了引起影像法测量误差的因素,对电真空器件典型部件进行测量,验证了部件的装架准确度和部件焊接之后的对中准确度。一、测量装置主机——MM800/L测量显微镜,计算机,软件——数据测量及转换计算机操作系统。

关 键 词：电真空器件 测量方法 计算机操作系统 同心度 工具显微镜 光学系统 测量误差 测量装置 

分 类 号：TH742[机械工程—光学工程]