李丽萍

作品数:3被引量:9H指数:1
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供职机构:中国科学院电子学研究所更多>>
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发文领域:机械工程电子电信一般工业技术化学工程更多>>
发文期刊:《中国计量》《真空科学与技术学报》《真空》更多>>
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电真空器件同心度的测量方法
《中国计量》2016年第1期93-96,共4页王博锋 周冠丽 王蒙 胡旭华 李丽萍 周健勇 张永清 
本文根据工具显微镜光学系统的特性,分析了引起影像法测量误差的因素,对电真空器件典型部件进行测量,验证了部件的装架准确度和部件焊接之后的对中准确度。一、测量装置主机——MM800/L测量显微镜,计算机,软件——数据测量及转换计算机...
关键词:电真空器件 测量方法 计算机操作系统 同心度 工具显微镜 光学系统 测量误差 测量装置 
电真空器件的气密性检测被引量:1
《真空》2014年第4期38-43,共6页李丽萍 王博锋 周健勇 张波 赵金玉 张永清 
基于氦质谱检漏仪的结构和原理,设计了适用于电真空器件气密性检测的检漏平台。电真空器件的结构特点及测量精度要求决定了氦罩法和喷吹法是电真空器件氦质谱检漏技术中最常用方法,氦罩法测定总漏率,总漏率超出允许值后用喷吹法对漏孔...
关键词:氦质谱 气密性 检漏 氦罩法 喷吹法 
电真空器件烘烤排气过程中残余气体质谱分析被引量:8
《真空科学与技术学报》2014年第4期325-328,共4页冯志良 赵金玉 李海涛 李丽萍 赵海鹏 刘月清 
采用四极质谱仪,对大功率速调管烘烤排气过程中残余气体进行实时检测,分析烘烤排气过程中管内件及氧化物阴极的出气规律。结果表明:烘烤排气过程中主要出现三个出气高峰,依次出现在烘烤排气温度30,75,325℃;过程中排除气体主要为H2O,并...
关键词:速调管 四极质谱仪 烘烤排气 残余气体 
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