赵金玉

作品数：3被引量：9H指数：1
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供职机构：中国科学院电子学研究所更多>>
发文主题：检漏电真空器件搭接真空检漏预紧力更多>>
发文领域：电子电信机械工程一般工业技术更多>>
发文期刊：《微波学报》《真空科学与技术学报》《真空》更多>>
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电真空器件的气密性检测被引量：1
《真空》2014年第4期38-43,共6页李丽萍 王博锋 周健勇 张波 赵金玉 张永清 
基于氦质谱检漏仪的结构和原理,设计了适用于电真空器件气密性检测的检漏平台。电真空器件的结构特点及测量精度要求决定了氦罩法和喷吹法是电真空器件氦质谱检漏技术中最常用方法,氦罩法测定总漏率,总漏率超出允许值后用喷吹法对漏孔...
关键词：氦质谱 气密性 检漏 氦罩法 喷吹法 
电真空器件烘烤排气过程中残余气体质谱分析被引量：8
《真空科学与技术学报》2014年第4期325-328,共4页冯志良 赵金玉 李海涛 李丽萍 赵海鹏 刘月清 
采用四极质谱仪,对大功率速调管烘烤排气过程中残余气体进行实时检测,分析烘烤排气过程中管内件及氧化物阴极的出气规律。结果表明:烘烤排气过程中主要出现三个出气高峰,依次出现在烘烤排气温度30,75,325℃;过程中排除气体主要为H2O,并...
关键词：速调管 四极质谱仪 烘烤排气 残余气体 
材料的出气分析以及TiN薄膜表面改性作用
《微波学报》2010年第S1期698-700,共3页郑晓阳 张永清 赵金玉 
为了满足微波器件对材料的真空性能越来越高的要求,本文对材料的出气原因、过程以及不同气体在材料内的扩散特点等进行了初步的分析探索,指出材料在保持原有物化特性的基础上,通过表面改性,可以提高其真空品质。最后本文利用经过表面镀...
关键词：表面改性 出气率 反应溅射 
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