冯志良

作品数：1被引量：8H指数：1
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电真空器件烘烤排气过程中残余气体质谱分析被引量：8
《真空科学与技术学报》2014年第4期325-328,共4页冯志良 赵金玉 李海涛 李丽萍 赵海鹏 刘月清 
采用四极质谱仪,对大功率速调管烘烤排气过程中残余气体进行实时检测,分析烘烤排气过程中管内件及氧化物阴极的出气规律。结果表明:烘烤排气过程中主要出现三个出气高峰,依次出现在烘烤排气温度30,75,325℃;过程中排除气体主要为H2O,并...
关键词：速调管 四极质谱仪 烘烤排气 残余气体 
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