张波

作品数：1被引量：1H指数：1
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发文主题：氦氦质谱检漏电真空器件气密性检测更多>>
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电真空器件的气密性检测被引量：1
《真空》2014年第4期38-43,共6页李丽萍 王博锋 周健勇 张波 赵金玉 张永清 
基于氦质谱检漏仪的结构和原理,设计了适用于电真空器件气密性检测的检漏平台。电真空器件的结构特点及测量精度要求决定了氦罩法和喷吹法是电真空器件氦质谱检漏技术中最常用方法,氦罩法测定总漏率,总漏率超出允许值后用喷吹法对漏孔...
关键词：氦质谱 气密性 检漏 氦罩法 喷吹法 
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