偏压对磁控溅射氮铝铬薄膜摩擦性能的影响  

作　　者：沈渊[1] 张宝红[1] 

机构地区：[1]山西中北大学材料科学工程学院

出　　处：《河北农机》2016年第2期57-58,共2页

摘　　要：本文采用了反应磁控溅射法在烧结Nd Fe B表面连续地沉积了氮铝铬薄膜。使用扫描电镜表征了薄膜的形貌。摩擦磨损性能在室温下采用多功能摩擦磨损试验机Rtec(MFT 5000)来表征。研究结果表明基底施加合适的负偏压会使薄膜致密、摩擦系数降低。

关 键 词：磁控溅射 氮铝铬薄膜 摩擦性能 

分 类 号：TH117.1[机械工程—机械设计及理论]