蓬勃发展的微纳米加工前沿技术--激光微纳制备  

作　　者：冯晶[1] 孙洪波[1] 

机构地区：[1]吉林大学电子科学与工程学院,集成光电子学国家重点实验室,长春130012

出　　处：《科学通报》2016年第6期566-566,共1页Chinese Science Bulletin

摘　　要：微纳结构化材料是指在功能材料中引入微纳米尺度结构,以提升功能材料性能和拓展其新功能。功能结构的微纳米化不仅意味着能源与原材料的节省,而且带来多功能的高度集成和生产成本的大大降低。实现材料微纳结构化的基础是先进的微纳米加工技术,从晶体管到集成电路,从微电子到微机械与微流体,从微米技术到纳米技术,微纳米加工技术获得了越来越广泛的应用，成为当今微纳米研究与产业化不可缺少的手段。

关 键 词：微纳米 微米技术 前沿技术 纳米技术 加工技术 材料性能 微流体 微机械 功能材料 尺度结构 

分 类 号：TB383.1[一般工业技术—材料科学与工程] TN249[电子电信—物理电子学]