低功耗微型磁通门的制备与分析  

Fabrication and Analysis of Low Power Micro Fluxgate

作　　者：吕辉[1,2] 李随源[3] 

机构地区：[1]河南理工大学电气工程与自动化学院,河南焦作454000 [2]西北工业大学电子信息学院,西安710129 [3]焦作师范高等专科学校理工学院,河南焦作454000

出　　处：《传感技术学报》2016年第1期21-25,共5页Chinese Journal of Sensors and Actuators

基　　金：高等学校博士学科点专项科研基金项目(20126102110031)

摘　　要：针对微型磁通门传感器降低功耗的要求,利用标准MEMS工艺制备了具有多孔结构铁芯的微型磁通门传感器。经过对器件的测试与分析,这一结构的铁芯能够降低器件功耗,提高传感器的整体性能。通过比较不同多孔铁芯对磁通门最佳激励电流的影响,综合考虑器件性能和制备工艺的要求,确定了最佳的设计参数。To meet the low power consumption demand,the micro fluxgate based porous core was designed and fab-ricated by MEMS technology. Porous thin film core can be effectively used to decrease the power consumption andimprove the performance of sensor. By comparing the influence of the aperture ratio of porous core on the excitingcurrent,the optimal parameters are obtained. This parameter can meet the requirement of performance of sensor andmeanwhile the requirement of preparation process.

关 键 词：多孔铁芯 微型磁通门 MEMS 低功耗 

分 类 号：TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]