投影光刻机TTL对准原理与故障分析  

The Principle and Fault Diagnosis of Stepper TTL Align System

作　　者：张文雅[1] 宋健[1] 

机构地区：[1]中国电子科技集团公司第十三研究所,石家庄050051

出　　处：《电子工业专用设备》2016年第4期29-32,共4页Equipment for Electronic Products Manufacturing

摘　　要：论述了ASML公司某型投影光刻机TTL对准系统的基本原理和主要构成,介绍了对准系统在光刻工艺中的工作过程,结合多年的投影光刻机维修经验总结了对准系统的常见故障,并给出了分析以及解决方法。This article expounds the working principle of ASML stepper TTL align system and its comprised modules,introduces the align system process program,and summarizes the normal faults of the align system,and methods of analysis and problem solving.

关 键 词：氦氖激光器 同轴对准 投影光刻机 

分 类 号：TN305.7[电子电信—物理电子学]