新型光载流子辐射技术强化半导体材料特性测量  

出　　处：《传感器世界》2016年第4期44-44,共1页Sensor World

摘　　要：半导体材料是微电子器件和光伏器件的恭础材料，其杂质和缺陷特性严重影响器件性能。随着微电子器件集成度和光伏器件转换效率的提高，对半导体原材料的要求越来越高。为了满足工业化生产的需求，相应地要求材料检测方法具有更高的灵敏度和更快的测量速度，同时避免对材料产生损伤。

关 键 词：半导体材料 特性测量 辐射技术 载流子 微电子器件 强化 光伏器件 工业化生产 

分 类 号：TN304[电子电信—物理电子学]