检索规则说明:AND代表“并且”;OR代表“或者”;NOT代表“不包含”;(注意必须大写,运算符两边需空一格)
检 索 范 例 :范例一: (K=图书馆学 OR K=情报学) AND A=范并思 范例二:J=计算机应用与软件 AND (U=C++ OR U=Basic) NOT M=Visual
作 者:郭明
机构地区:[1]金堆城洛阳节能玻璃有限公司,洛阳市471202
出 处:《玻璃》2016年第4期35-40,共6页Glass
摘 要:通过实验,详细分析了在硅铝靶使用不同的溅射功率时,如何选择最合适的工艺气体流量和氩/氮气比例,降低其钢化前后可见光透过率的变化量,生产出高质量的可钢化Low-E玻璃。This paper analyses the methods in detail to reduce transmittance variation of visible light by selecting the most appropriate process gas flow and the optimal rate of Ar and N2 for Silicon Aluminum target sputtering at different power.
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