基于计算机控制的激光直写系统的设计及应用  

Design and Application of Laser Direct Wring System Based on Computer Control

作　　者：宓斌华 李静[1] 

机构地区：[1]中国科学技术大学精密机械与精密仪器系,安徽合肥230027

出　　处：《工业控制计算机》2016年第5期82-83,共2页Industrial Control Computer

基　　金：国家自然基金项目(91023049)

摘　　要：激光直写技术具有加工效率高、加工速度快、环境污染小等优点,近年来在国内的发展非常迅速。采用计算机操纵控制的激光直写技术,可以构建复杂的微纳图案,满足微细加工要求。建立了一套基于计算机控制的激光直写系统,它由光机电和控制软件部分组成。在建立的系统上,以玻璃为基底进行了金光栅的制作并对其进行了形貌测量。测量结果表明,采用该激光直写系统制作的金光栅具有较高的重复精度。Because of high processing efficiency,processing speed,less environmental pollution,etc.,recently,laser direct writing technology is growing very rapidly in China.In this paper a laser direct writing system is built based on computer control,it includes optomechatronics and control software.The system is used for the production of gold grating on the glass substrate,and its profile is measured.

关 键 词：激光直写技术 计算机控制 金光栅 

分 类 号：TN249[电子电信—物理电子学] TP273.5[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]