MCVD设备套管工艺研究  

作　　者：孙可元 

机构地区：[1]富通集团研究院西南研究所

出　　处：《现代传输》2016年第3期29-30,共2页Modern Transmission

摘　　要：套管工艺一般是预制棒和空心石英管组合熔缩,在预制棒的外表面套一根壁厚的石英管,经过高温熔融,在抽取真空的辅助作用下完成大棒化过程.行业运用于生产的套管工艺,大多都是采用拉丝、套管同时进行,利于提高效益.但此工艺的前提是需要在拉丝机上配制一组负压及装夹系统,且大尺寸套管与芯棒组合受拉丝炉的制约.而利用MCVD设备进行套管,不需要增加设备组件,就可在同机台上完成芯棒制备后进行套管,从而减少工序,节省时间,提高效益.

关 键 词：CVD设备 套管 工艺 高温熔融 辅助作用 装夹系统 石英管 预制棒 

分 类 号：TN253[电子电信—物理电子学]