多铁纳米MEMS压力传感器性能测试系统设计  

The Test and Research on Multiferroic MEMS Pressure Sensor System

作　　者：冯春鹏[1] 赵智增 

机构地区：[1]北方工业大学机械与材料工程学院,北京100144

出　　处：《山西电子技术》2016年第3期17-19,24,共4页Shanxi Electronic Technology

基　　金：北京市自然科学基金项目:多铁材料微器件的稳健设计原理与方法研究(3122014)

摘　　要：针对近年来对微传感器测试研究的发展需求,设计一种基于多铁纳米MEMS压力传感器的性能测试系统,该性能测试装置由3个部分组成:压力容器泵体、测试接口电路和温度磁场调控系统。对实验室设计制作出的多铁纳米MEMS压力传感器,利用该测试装置在温度可调、磁场可控的条件下进行传感器性能参数的测试。实验结果初步表明,该方案设计出的基于多铁纳米MEMS压力传感器的性能测试装置是切实可用的,为以后更具体的测试工作提供理论参考和实验依据。According to the development needs of micro sensor test research in recent years,this paper designs a performance testing system based on the Multiferroic MEMS pressure sensor,which is composed of three parts： the pressure vessel,the test circuit and the temperature and the magnetic field. The testing device can be used to test the performance of the Multiferroic MEMS sensor,and the environment can be adjusted and controlled by the magnetic field. It is feasible to verify the design of the test device,which provides a reference for the testing of the type of micro sensor.

关 键 词：多铁性材料 MEMS压力传感器 性能测试 磁场可控 

分 类 号：TH16[机械工程—机械制造及自动化] TP212.1[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]