OHS运输系统对VLSI厂房微振动影响分析方法  

Method for analyzing influence of OHS transport system on micro-vibration of VLSI structure

作　　者：胡明祎[1,2,3] 娄宇[1,2] 聂建国[3] 陈骝[1,2] 窦硕[1,2] 黄伟[4,5] 

机构地区：[1]中国电子工程设计院,北京100142 [2]北京市微振动环境控制工程技术研究中心,北京150080 [3]清华大学土木水利学院,北京100084 [4]合肥工业大学土木与水利工程学院,安徽合肥230009 [5]土木工程结构与材料安徽省重点实验室,安徽合肥230009

出　　处：《合肥工业大学学报（自然科学版）》2016年第6期812-817,共6页Journal of Hefei University of Technology：Natural Science

基　　金：北京市科学技术委员会资助项目(Z131101002813083)

摘　　要：OHS运输系统是超大规模集成电路(VLSI)制造工业环境中洁净工艺系统中的重要组成部分,但是由于工业厂房的结构复杂且分布着较为密集的精密设备,OHS运输过程产生的微振动会对生产造成危害,因此需要建立合理有效的微振动控制分析方法辅助工程设计。文章基于该类工程微振动传递线性特征,利用工程实测数据,建立了振动能量封闭体简化分析模型,提出基于传递函数相似性的OHS系统微振动影响控制分析方法,并利用实际工程对该方法进行了应用说明。分析结果表明:该方法实施简单且符合现阶段工程应用需求,为OHS系统振动影响提供了合理可靠的分析手段。During the industrial manufacture of very large scale integrated circuit （VLSI） ,Over Hang System（OHS） is very important part of the clean technology system .However ,many precision de-vices are generally densely distributed in the industrial plant which is characterized with complex structure type ,micro-vibration made by OHS operation will do harm to the manufacture ,so it is nec-essary to create reasonable and effective analysis method for micro-vibration control design .In this pa-per ,based on the linear transfer characteristic and the engineering test data ,the simplified model of vibration energy closure is built ,and the analysis method for the micro-vibration control of OHS sys-tem is proposed and then illustrated by the application in real project .The results show that the meth-od ,in accordance with engineering requirement at present ,is easy to be carried out ,and it provides a reliable method to solve the influence of OHS system .

关 键 词：OHS 运输系统 超大规模集成电路 厂房 微振动影响 

分 类 号：TU311.3[建筑科学—结构工程]