硅片传输机器人手臂结构优化设计方法分析  

作　　者：郭吉冬 

机构地区：[1]山东建筑大学,山东济南250000

出　　处：《科技创新与应用》2016年第22期84-84,共1页Technology Innovation and Application

摘　　要：对硅片传输机器人手臂结构优化变量进行分析,明确主要的优化参数,制定硅片传输机器人整体规划方案。分析硅片传输机器人动态特性。提出硅片传输机器人末端手臂静偏移约束,利用刚性杆规定优化目标,使关节系统更加的灵活。在优化参数基础上积极调整手臂结构建立硅片传输机器人动力模型,通过调整频率分析柔性关节对精准度的影响。

关 键 词：硅片传输机器人 手臂结构 优化设计 

分 类 号：TP241.2[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]