硅片传输机器人

作品数：7被引量：63H指数：5
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相关领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>
相关作者：吴明月刘延杰荣伟彬孙立宁丛明更多>>
相关机构：哈尔滨工业大学大连理工大学北京工业大学天津大学更多>>
相关期刊：《电子工业专用设备》《机械工程学报》《机器人技术与应用》《科技创新与应用》更多>>
相关基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划国家科技重大专项大连市科技计划项目更多>>
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硅片传输机器人手臂结构优化设计方法分析被引量：1
《科技创新与应用》2016年第22期84-84,共1页郭吉冬 
对硅片传输机器人手臂结构优化变量进行分析,明确主要的优化参数,制定硅片传输机器人整体规划方案。分析硅片传输机器人动态特性。提出硅片传输机器人末端手臂静偏移约束,利用刚性杆规定优化目标,使关节系统更加的灵活。在优化参数基础...
关键词：硅片传输机器人 手臂结构 优化设计 
硅片传输机器人手臂结构优化设计方法被引量：23
《机械工程学报》2015年第1期1-9,共9页刘延杰 吴明月 王刚 蔡鹤皋 
国家高技术研究发展计划(863计划;2013AA040901);黑龙江省科研机构创新能力提升专项计划(YC13D004)资助项目
提出一种以硅片传输机器人末端竖直方向上由手臂静变形引起的静偏移为约束、以刚性杆柔性关节系统固有频率为优化目标、以各手臂壁厚为优化参数的硅片传输机器人手臂结构优化设计方法。建立硅片传输机器人刚性杆柔性关节动力学模型,通...
关键词：硅片传输机器人 结构优化 动态特性:挠度 静态形变 
基于最优S型曲线轨迹的硅片传输机器人末端振动抑制方法被引量：12
《机器人》2014年第4期446-454,共9页吴明月 刘延杰 蔡鹤皋 
国家科技重大专项(No.2009ZX02012-002);国家863计划课题(2013AA040901)
针对硅片传输机器人末端低频振动问题,提出了一种基于最优S曲线轨迹的硅片传输机器人低频振动的抑制方法.该方法通过推导在参数化S型曲线输入条件下非线性时变系统的动态响应近似方程得到系统低频振动的振幅方程,并通过优化振幅方程中的...
关键词：硅片传输机器人 振动抑制 轨迹规划 S型曲线 
硅片传输机器人的分析设计
《电子工业专用设备》2011年第12期15-20,共6页马喜宝 
根据硅片传输机器人在IT行业的应用特点,针对R-θ二自由度结构的机器人进行了运动学和动力学的分析,根据分析结果,进行结构设计和运动原理的描述,对多自由度机器人设计和研发进行探索。
关键词：机器人 自由度 运动学分析 动力学分析 
硅片传输机器人的发展及研究现状被引量：13
《机器人技术与应用》2007年第4期18-23,共6页丛明 于旭 徐晓飞 
国家自然科学基金资助项目(50675027)
本文综述了硅片传输机器人的发展历史,探讨了硅片传输机器人的典型结构,分析了硅片传输机器人的研究现状,并介绍了硅片传输机器人的典型产品。
关键词：集成电路 硅片传输机器人 研究现状 典型结构 
基于PMAC的硅片传输机器人控制器的设计与实现被引量：6
《制造业自动化》2006年第5期48-52,共5页丛明 张士军 周玉敏 金立刚 
国家863高技术研究发展计划资助项目(2004AA420040);大连市科技计划项目(2004A1GX086)
在半导体制造业中,硅片传输机器人承担着硅片的精确定位、快速搬运等复杂任务,这对硅片传输机器人的控制器提出了严格的要求,因此对硅片传输机器人的控制模块进行系统的研究有着重要意义。本文以美国DeltaTauDataSystems公司的PMAC多轴...
关键词：硅片传输机器人 PMAC 机器人控制器 
径向直线运动型硅片传输机器人的设计与研究被引量：12
《制造业自动化》2005年第2期35-37,共3页丛明 张士军 金洙吉 康仁科 
国家863高技术研究发展计划资助项目(2002AA421230)
结合径向直线运动型硅片传输机器人的设计,分别介绍了该机器人的升降旋转部件、径向伸缩 部件、末端翻转部件的机构以及工作原理,并且对径向伸缩部件的直线运动机构进行了运动学 分析。
关键词：硅片传输机器人 机构 运动学分析 
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