周玉敏

作品数：1被引量：6H指数：1
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供职机构：大连理工大学机械工程学院更多>>
发文主题：PMAC硅片传输机器人机器人控制器集成电路机器人控制系统更多>>
发文领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>
发文期刊：《制造业自动化》更多>>
所获基金：大连市科技计划项目国家高技术研究发展计划更多>>
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基于PMAC的硅片传输机器人控制器的设计与实现被引量：6
《制造业自动化》2006年第5期48-52,共5页丛明 张士军 周玉敏 金立刚 
国家863高技术研究发展计划资助项目(2004AA420040);大连市科技计划项目(2004A1GX086)
在半导体制造业中,硅片传输机器人承担着硅片的精确定位、快速搬运等复杂任务,这对硅片传输机器人的控制器提出了严格的要求,因此对硅片传输机器人的控制模块进行系统的研究有着重要意义。本文以美国DeltaTauDataSystems公司的PMAC多轴...
关键词：硅片传输机器人 PMAC 机器人控制器 
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