基于PMAC的硅片传输机器人控制器的设计与实现  

The design and implementation of wafer-handling robot controller based on PMAC

作　　者：丛明[1] 张士军[1] 周玉敏[1] 金立刚[1] 

机构地区：[1]大连理工大学机械工程学院,大连116024

出　　处：《制造业自动化》2006年第5期48-52,共5页Manufacturing Automation

基　　金：国家863高技术研究发展计划资助项目(2004AA420040);大连市科技计划项目(2004A1GX086)

摘　　要：在半导体制造业中,硅片传输机器人承担着硅片的精确定位、快速搬运等复杂任务,这对硅片传输机器人的控制器提出了严格的要求,因此对硅片传输机器人的控制模块进行系统的研究有着重要意义。本文以美国DeltaTauDataSystems公司的PMAC多轴运动控制器为例介绍了PMAC在硅片传输机器人控制器中的开发与应用,并以该公司的PMAC2-PC104型控制卡为核心,结合电气和气动回路,设计和建立了R-θ型(径向直线运动型)硅片传输机器人的开放式控制器,实现了硅片传输机器人的运动控制。In the semiconductor manufacturing industry, the wafer-handling robots can execute complex tasks such as precise localization, fast transporting and so on. To achieve better performance of wafer-handling robots, it is essential to carry on system research to the control units of wafer-handling robots. This paper takes American Delta Tau Data Systems Corporation＇s PMAC movement controller as an example, introduced PMAC board to robot controller application, designed and built a R-θ model（radial and linear movement model） wafer-handling robot open -architecture controller based on PMAC2-PC104.

关 键 词：硅片传输机器人 PMAC 机器人控制器 

分 类 号：TP24[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]