硅片传输机器人的分析设计  

The analysis and design of the wafer transfer robot

作　　者：马喜宝 

机构地区：[1]上海微高精密机械工程有限公司,上海201203

出　　处：《电子工业专用设备》2011年第12期15-20,共6页Equipment for Electronic Products Manufacturing

摘　　要：根据硅片传输机器人在IT行业的应用特点,针对R-θ二自由度结构的机器人进行了运动学和动力学的分析,根据分析结果,进行结构设计和运动原理的描述,对多自由度机器人设计和研发进行探索。Based on the characteristics of the wafer handle robot in IT industry,carried through the kinematics and dynamics analysis about R-θ robot of two dofs.Based on the result of the analysis,designed the robot and described the motion principle,furthermore,explored the robot of more dofs design and development.

关 键 词：机器人 自由度 运动学分析 动力学分析 

分 类 号：TP271.2[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]