集成电路测试系统微小微电子参量校准技术研究  

作　　者：尹梦宾 

机构地区：[1]北京工业大学,北京100022

出　　处：《通讯世界》2016年第8期225-225,共1页Telecom World

摘　　要：利用集成电路测试系统,可以完成小于1m V和1m A的直流电压和电流的测试。而想要确保测量值准确可靠,还要使用相应的校准技术进行微小微电子参量的校准。基于这种认识,本文对微小微电子参量特性展开了分析,然后对其校准技术展开了研究,从而为关注这一话题的人们提供参考。

关 键 词：集成电路测试系统 微小微电子 参量校准 

分 类 号：TN407[电子电信—微电子学与固体电子学]