KLA—Tencor推出晶圆全面检测与检查系列产品  

出　　处：《中国集成电路》2016年第8期8-8,共1页China lntegrated Circuit

摘　　要：KLA—Tencor公司近日为前沿集成电路制造推出了六套先进的缺陷检测与检查系统：3900系列和2930系列宽波段等离子光学检测仪、

关 键 词：检查系统 KLA 检测仪 产品 晶圆 集成电路制造 离子光学 缺陷检测 

分 类 号：TN405[电子电信—微电子学与固体电子学]