硅基微纳光电子器件的研究  

作　　者：周宇[1] 王孙晨 

机构地区：[1]长春理工大学,130000

出　　处：《通讯世界（下半月）》2016年第9期244-244,共1页Telecom World

摘　　要：由于硅基加工工艺目前发展较为成熟、硅基光电子元件的制造成本相对较低且具有较理想的光电混合继承性能,所以硅基光电子元件现阶段在光纤通信方面的应用较为普遍,特别是其向微纳米机电系统的深化,使其应用的空间更加广阔,在此背景下,本文以目前较为成功的几个关键硅基微纳光电子器件为例,针对硅基微纳光电子器件展开研究,为对其更加全面的认识做出努力。

关 键 词：硅基微纳光电子器件 硅基光电子元件 MEMS可调谐激光器 

分 类 号：TN36[电子电信—物理电子学]