周宇

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供职机构：长春理工大学更多>>
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硅基微纳光电子器件的研究
《通讯世界（下半月）》2016年第9期244-244,共1页周宇 王孙晨 
由于硅基加工工艺目前发展较为成熟、硅基光电子元件的制造成本相对较低且具有较理想的光电混合继承性能,所以硅基光电子元件现阶段在光纤通信方面的应用较为普遍,特别是其向微纳米机电系统的深化,使其应用的空间更加广阔,在此背景下,...
关键词：硅基微纳光电子器件 硅基光电子元件 MEMS可调谐激光器 
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