浅析阿贝误差对激光干涉仪测量测长机示值误差时的影响  

作　　者：王典泽 

机构地区：[1]山西省计量科学研究院,山西太原030002

出　　处：《中国设备工程》2016年第13期73-74,共2页China Plant Engineering

基　　金：国家质检总局科技计划项目（2013QK154）

摘　　要：随着科技的不断发展,精密仪器的测量工具也在不断的发展,测量误差的不断减小是保证测量准确度提高的重要条件.测长机是用于测量大尺寸量块以及多种工件的光学长度测量工具,但是测长机在测量时,由于测量的轨道直线度不好,将会产生较大的阿贝误差.激光干涉仪是以激光波长为已知长度,利用迈克耳逊干涉系统测量位移的通用长度测量系统,其特点就是可以实现非接触测量,配合各种折射镜、反射镜等来作线性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等测量工作.本文主要是分析阿贝误差是如何影响激光干涉仪测量测长机时的示值误差.

关 键 词：激光干涉仪 测长机 阿贝误差 

分 类 号：TH744.3[机械工程—光学工程]